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蔡司X射線顯微鏡 VersaXRM 系列成像產(chǎn)品秉持獨特的幾何加光學(xué)兩級放大設(shè)計理念。無需制作切片或破壞樣品,即可精準確定缺陷位置,分析缺陷形態(tài),查找失效原因,進而提升產(chǎn)品質(zhì)量。目前已經(jīng)廣泛的應(yīng)用在半導(dǎo)體和電子封裝、元件和器件的失效分析及工藝開發(fā)等研究領(lǐng)域。
· HART 高縱橫比樣品優(yōu)化掃描模式提升掃描效率可達 50%
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